実験装置

・J2棟クリーンルーム内の実験装置	簡易マニュアル
高清浄熱酸化炉	操作マニュアル（日本語版）(pdf) 操作マニュアル（英語版）(pdf)
E-200S スパッタ装置	操作マニュアル（日本語版）(pdf)
L-201D-CCP RIE装置	操作マニュアル（日本語版）(pdf)
ADM8D Mk�U ダイサー	操作マニュアル（日本語版）(pdf)
J2棟クリーンルームの安全講習のファイル 説明用スライド（日本語版）(pdf)	J2棟クリーンルームの安全講習のファイル 運営（保安・安全）規則（日本語版）(pdf)

・G2棟クリーンルーム内の実験装置(画像をクリックすると拡大)
クリーンルーム内の様子	クリーンルーム内の様子
クリーンルーム内の様子	クリーンルーム内の様子
超純水製造装置	ステッパ
マスクアライナ	ICP-RIE
RTA	クリーンルーム内での実験風景

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