研究内容

新機能集積化デバイスの作製 -高・強誘電体を用いた新構造デバイス-
 みなさんが使っている現在の電子機器は、Si を用いた何億ものトランジスタを集積 化することで構成されています。大見研究室では、新しい構造のトランジスタに関する研究を行っています。

1.極微細シリコンデバイス
 ・3次元構造上へのHf系高誘電率薄膜の形成
 ・Si基板表面原子レベル平坦化プロセス
 ・低コンタクト抵抗シリサイド薄膜の形成

2. フレキシブル有機半導体デバイス
 ・電子注入層によるn-OFETの大気中動作
 ・トップゲート型単一有機半導体CMOS

3. 1トランジスタ型不揮発性メモリ
 ・Hf系MONOS型トランジスタ
 ・水素結合型有機強誘電体ゲートOFET
 ・Hf系強誘電体ゲートFET


学生の表彰
当研究室の誇りである。大見俊一郎

2024年12月10日 Kangbai Li
   ISSM 2024 Best Papers Award
   Ar/N2 gas flow rate dependence on the ferroelectric HfN1.15 thin film formation by ECR-plasma sputtering

2023年7月10日 Eunki Hong
   AWAD2023 YOUNG RESEARCHER AWARDS
   Development of Etching Process for the N-doped LaB6/LaBxNy Stack Structure to Realize Floating-gate type Non-volatile Memory

2022年12月13日 田沼 将一
   ISSM2022 Best Papers Award
   Deposition rate dependence of 5 nm-thick ferroelectric nondoped HfO2 on MFSFET characteristics

2021年8月26日 Eunki Hong
   AWAD2021 Young Researcher Award
   Effect of low sputtering gas pressure on the LaBxNy insulator formation for pentacene-based floating gate memory application

2021年6月3日 Jooyoung Pyo
   EM-NANO2021 Best Student Presentation Award
   Multi-level 2-bit/cell Operation Utilizing Hf-based MONOS Nonvolatile Memory with HfON Tunneling Layer

2021年3月2日 太田口 幸久
   学士特定課題研究発表会(電気電子系) 学士優秀学生賞・楽水会賞
   強誘電性HfNx薄膜の形成とデバイス応用に関する研究  

2020年12月16日 井原 爽生
   ISSM2020TOKYO Virtual Symposium Best Paper Award,Student Award
   Investigation of high-k HfN multilayer gate dielectrics for MISFET fabricated with Si surface flattening  

2020年12月16日 Jooyoung Pyo
   ISSM2020TOKYO Virtual Symposium Best Paper Award
   Ar/N2-plazma Sputtering Pressure Dependence on EOT Reducation of HfON Tunneling layer Formed by The Plasma Oxidation of HfN for Hf-based MONOS Diodes  

2020年10月24日 堀内 勇介
   電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会 若手優秀発表賞
   多層電荷蓄積層を用いたHf系MONOS型不揮発性多値メモリに関する検討  

2019年8月28日 森田 大貴
   電気学会 東京支部主催 第10回学生研究発表会 優秀発表賞
   In-situプロセスによるHf系MONOS構造の形成とデバイス応用に関する研究  

2019年8月28日 林 将生
   電気学会 東京支部主催 第10回学生研究発表会 優秀発表賞
   強誘電性ノンドープHfO2薄膜のSi(100)基板上への形成とデバイス応用に関する研究  

2018年8月31日 片岡 正和
   電気学会 東京支部主催 第9回学生研究発表会 優秀発表賞
   強誘電性ノンドープHfO2薄膜のSi(100)基板上への直接形成とデバイス応用  

2018年5月30日 Min Gee Kim
   IEEE IFAAP Poster Award
   Electrical Characteristics of Ferroelectric HfO2 Directly Deposited on Si Substrates  

2017年10月25日 前田 康貴
   電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会(SDM) 招待講演 若手優秀発表賞
   HfO2をゲート絶縁膜に用いたペンタセンOFETのデバイス特性に関する検討  

2017年9月4日 井上 秀文
   電気学会 東京支部主催 第8回学生研究発表会 優秀発表賞
   強誘電性HfO2薄膜のSi(100)基板上への直接形成に関する研究 

2017年7月3日 工藤 聡也
   AWAD2017 Young Researcher Awards
   Improvement of endurance characteristics for Hf-based MONOS structures on atomically flat Si(100) surface realized by annealing in Ar/H2 ambient 

2016年9月14日 Nithi Atthi
   第77回(2016年秋季)応用物理学会 招待講演
   Investigation of Bilayer HfN Gate Insulator Formed by ECR Plasma Sputtering 

2016年3月19日 Nithi Atthi
   第40回(2016年春季)応用物理学会 講演奨励賞
   Investigation of Bilayer HfN Gate Insulator Formed by ECR Plasma Sputtering 

2015年12月11日Nithi Atthi
   電子情報通信学会バイオテクノロジーエレクトロニクス研究会 優秀研究賞
   Investigation of stacked HfN gate insulator formed by ECR plasma sputtering」

2015年8月31日 塚崎 真弘
   電気学会第6回学生研究発表会 優秀発表賞
   熱処理によるSOI基板表面原子レベル平坦化に関する検討 
    
2014年9月1日 Fadliondi
   電気学会第5回学生研究発表会 優秀発表賞
   有機強誘電体クロコン酸を用いた不揮発性メモリに関する研究 
    

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