研究内容
新機能集積化デバイスの作製 -高・強誘電体を用いた新構造デバイス-
みなさんが使っている現在の電子機器は、Si を用いた何億ものトランジスタを集積
化することで構成されています。大見研究室では、新しい構造のトランジスタに関する研究を行っています。
1.極微細シリコンデバイス
・3次元構造上へのHf系高誘電率薄膜の形成
・Si基板表面原子レベル平坦化プロセス
・低コンタクト抵抗シリサイド薄膜の形成
2. フレキシブル有機半導体デバイス
・電子注入層によるn-OFETの大気中動作
・トップゲート型単一有機半導体CMOS
3. 1トランジスタ型不揮発性メモリ
・Hf系MONOS型トランジスタ
・水素結合型有機強誘電体ゲートOFET
・Hf系強誘電体ゲートFET
学生の表彰
当研究室の誇りである。大見俊一郎
2024年12月10日 Kangbai Li
ISSM 2024 Best Papers Award
Ar/N2 gas flow rate dependence on the ferroelectric HfN1.15 thin film formation by ECR-plasma sputtering
2023年7月10日 Eunki Hong
AWAD2023 YOUNG RESEARCHER AWARDS
Development of Etching Process for the N-doped LaB6/LaBxNy Stack Structure to Realize Floating-gate type Non-volatile Memory
2022年12月13日 田沼 将一
ISSM2022 Best Papers Award
Deposition rate dependence of 5 nm-thick ferroelectric nondoped HfO2 on MFSFET characteristics
2021年8月26日 Eunki Hong
AWAD2021 Young Researcher Award
Effect of low sputtering gas pressure on the LaBxNy insulator formation for pentacene-based floating gate memory application
2021年6月3日 Jooyoung Pyo
EM-NANO2021 Best Student Presentation Award
Multi-level 2-bit/cell Operation Utilizing Hf-based MONOS Nonvolatile Memory with HfON Tunneling Layer
2021年3月2日 太田口 幸久
学士特定課題研究発表会(電気電子系) 学士優秀学生賞・楽水会賞
強誘電性HfNx薄膜の形成とデバイス応用に関する研究
2020年12月16日 井原 爽生
ISSM2020TOKYO Virtual Symposium Best Paper Award,Student Award
Investigation of high-k HfN multilayer gate dielectrics for MISFET fabricated with Si surface flattening
2020年12月16日 Jooyoung Pyo
ISSM2020TOKYO Virtual Symposium Best Paper Award
Ar/N2-plazma Sputtering Pressure Dependence on EOT Reducation of HfON Tunneling layer Formed by The Plasma Oxidation of HfN for Hf-based MONOS Diodes
2020年10月24日 堀内 勇介
電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会 若手優秀発表賞
多層電荷蓄積層を用いたHf系MONOS型不揮発性多値メモリに関する検討
2019年8月28日 森田 大貴
電気学会 東京支部主催 第10回学生研究発表会 優秀発表賞
In-situプロセスによるHf系MONOS構造の形成とデバイス応用に関する研究
2019年8月28日 林 将生
電気学会 東京支部主催 第10回学生研究発表会 優秀発表賞
強誘電性ノンドープHfO2薄膜のSi(100)基板上への形成とデバイス応用に関する研究
2018年8月31日 片岡 正和
電気学会 東京支部主催 第9回学生研究発表会 優秀発表賞
強誘電性ノンドープHfO2薄膜のSi(100)基板上への直接形成とデバイス応用
2018年5月30日 Min Gee Kim
IEEE IFAAP Poster Award
Electrical Characteristics of Ferroelectric HfO2 Directly Deposited on Si Substrates
2017年10月25日 前田 康貴
電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会(SDM) 招待講演 若手優秀発表賞
HfO2をゲート絶縁膜に用いたペンタセンOFETのデバイス特性に関する検討
2017年9月4日 井上 秀文
電気学会 東京支部主催 第8回学生研究発表会 優秀発表賞
強誘電性HfO2薄膜のSi(100)基板上への直接形成に関する研究
2017年7月3日 工藤 聡也
AWAD2017 Young Researcher Awards
Improvement of endurance characteristics for Hf-based MONOS structures on atomically
flat Si(100) surface realized by annealing in Ar/H2 ambient
2016年9月14日 Nithi Atthi
第77回(2016年秋季)応用物理学会 招待講演
Investigation of Bilayer HfN Gate Insulator Formed by ECR Plasma Sputtering
2016年3月19日 Nithi Atthi
第40回(2016年春季)応用物理学会 講演奨励賞
Investigation of Bilayer HfN Gate Insulator Formed by ECR Plasma Sputtering
2015年12月11日Nithi Atthi
電子情報通信学会バイオテクノロジーエレクトロニクス研究会 優秀研究賞
Investigation of stacked HfN gate insulator formed by ECR plasma sputtering」
2015年8月31日 塚崎 真弘
電気学会第6回学生研究発表会 優秀発表賞
熱処理によるSOI基板表面原子レベル平坦化に関する検討
2014年9月1日 Fadliondi
電気学会第5回学生研究発表会 優秀発表賞
有機強誘電体クロコン酸を用いた不揮発性メモリに関する研究